Bypass-CMOS-Sensor

Ein Laminar-Flow-Element im Hauptkanal erzeugt einen geringen Druckabfall, welcher einen kleinen Teil des Gesamtdurchflusses durch den Bypasskanal treibt. Der dort sitzende Sensor erfasst den Massendurchfluss direkt als Temperaturunterschied. Die Messung erfolgt hier in einem speziell geformten Strömungskanal, dessen Wandung an einer Stelle einen Si-Chip mit einer freigeätzten Membran enthält. Auf dieser Membran sind in CMOSens®-Technologie ein Heizwiderstand sowie symetrisch zu diesem stromaufwärts und stromabwärts zwei Temperatursensoren aufgebracht. Wenn der Heizwiderstand mit einer konstanten Spannung gespeist wird, ist die Differenzspannung der Temperatursensoren ein Maß für den Massendurchfluss des im Strömungskanal über den Chip strömenden Gases.

Funktionsschema des Bypass-Sensors in CMOS-Sens - Technologie (Ausschnitt aus dem Bypasskanal)