Piezoresistiver Sensor

Der piezoresistive Sensor wird zum Schutz mit einer hydraulischen Flüssigkeit umspült. Die Trennung zum Medium erfolgt über eine Edelstahlmembrane. Die Biegung der Membrane durch den Außendruck verursacht eine Änderung des hydraulischen Drucks der Flüssigkeit um den piezoresistiven Sensor. Der Sensor gibt ein druckproportionales Signal ab, das in ein 4 - 20 mA Ausgangssignal umgewandelt wird. Das Messverfahren ist sehr gut für die Erfassung von geringen Drücken geeignet und man erreicht hohe Überlastfaktoren.